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手艺指标 |
数据 |
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有用行程 |
X轴:300mm Y轴:300mm |
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最大速率 |
X轴:1000mm/s Y轴:1000mm/s |
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最大加速率 |
X轴:0.6G Y轴:0.6G |
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重复定位精度 |
X轴:±0.5μm Y轴:±1μm θ轴：±2arcsec |
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直线度 |
X轴:±4μm Y轴:±4μm |
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行走平面度 |
X轴:±5μm Y轴:±4μm |
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XY正交度 |
±5μm |
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最大负载 |
10kg |
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光栅尺区分率 |
0.1μm |
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13655559489 （孙司理）