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高速细密贴装装备 细密运动平台 细密运动组件

产品解决了高精度定位及运动控制系统设计要害手艺问题  ,实现最大速率≥450 mm/s  ,平均加速率≥0.6G  ,单轴重复定位精度≤±1μm(可达±100nm)。能普遍应用于装备制造、无损检测、芯片检测、AOI检测、晶圆切割、3C电子封装等高精尖领域  ,为相关工业提供强有力的手艺支持和定制化国产替换解决计划。本产品被评为安徽省首台套重大手艺装备。

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